洗凈設(shè)備

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在LCD制造工程的各個(gè)階段,去除Glass基板表面微小Particle、有機(jī)物、金屬不純物等影響良率的污染的裝置。

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特長

  • 裝置二層構(gòu)造,實(shí)現(xiàn)節(jié)省空間。
  • hyper tool,實(shí)現(xiàn)節(jié)能。
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