光學部件用濺鍍設備

Sputtering Equipment for Optical Parts

光學部件用濺鍍設備
(CCS系列)

洗浄裝置

是光學膜成膜最適合的濺射裝置。
用低溫可以連續(xù)多層成膜。

應用例

  • 玻璃蓋片用AR膜(智能手機用/車載顯示器用)
  • 汽車用光學零部件
    ·HUD用增反射鏡,組合器等
    (增反射膜,半程,AR膜)
配向膜インクジェット塗布裝置

特長

  • 采用后氧化方式,可進行低溫成膜
  • 高生產(chǎn)率
  • 多品種對應
  • 高均一性
  • 高質(zhì)量
  • 自動化容易
配向膜インクジェット塗布裝置

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