高速多層式濺鍍設(shè)備
（BM-1000／1400）
是實(shí)現(xiàn)省空間·低運(yùn)行成本·高生產(chǎn)率的濺射裝置。
應(yīng)用例
- 汽車鏡子(光催化劑)
- 電子元件
- 加裝飾成膜
- 光學(xué)膜(AR膜，增反射膜，ITO膜)
特長
- 枚葉式加載方式濺射裝置
- 到實(shí)體尺寸MAX 8英寸對應(yīng)可能
- 到最大7工藝室安可能
（BM-1000:5室，BM-1400:7室） - 逆濺鍍機(jī)構(gòu)采用本公司獨(dú)自的連軸方式，低損壞實(shí)現(xiàn)
- 加熱機(jī)構(gòu)取付可能
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