高速單片式濺鍍?cè)O(shè)備

High-Speed, Single-Wafer Sputtering Equipment

高速單片式濺鍍?cè)O(shè)備
(BM-700/600)

洗浄裝置

反射膜+保護(hù)膜等比以往實(shí)現(xiàn)更高的附加價(jià)值。
是適合立體物成膜的自動(dòng)化線對(duì)應(yīng)可以的高速枚葉式濺射裝置。

應(yīng)用例

  • 汽車包裝品
  • 標(biāo)志,小型燈反射器等,反光鏡等
  • 汽車內(nèi)部裝飾品
  • 儀表環(huán),開關(guān)類等

特長

特殊P-gun構(gòu)造
  • 立體物對(duì)應(yīng)∶立體物側(cè)面膜附著提高
  • 層積可能最大2種材料
  • 使用專用holder實(shí)現(xiàn)少量多品種
  • 縮短生產(chǎn)進(jìn)度,縮短時(shí)間
  • 為搬送系采用pick&place機(jī)構(gòu),與自動(dòng)化線的對(duì)接容易
  • 毫米波雷達(dá)用電波透過膜(不連續(xù)膜)的成膜是可能
  BM-700 BM-600
為立體產(chǎn)品適用 鏡子,為平板產(chǎn)品適用
不連續(xù)膜用 裝飾顏色用 裝飾顏色用
In、Sn等 Al、Cr等 Al、Cr等
濺鍍?cè)?/th> ?150mm max.2個(gè) ?300mm 1個(gè)
投入Max.尺寸 ?270×t70mm ?300×t70mm ?250×t14mm
※薄膜厚度分布保障另外。
周期 60秒/分批 16秒/分批 8秒/分批

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