低溫多晶硅
TFT用自旋
清洗設(shè)備
擁有半導(dǎo)體制造工程水準(zhǔn)的洗凈能力，最適合低溫多晶硅TFT洗凈的Spin式洗浄裝置。
特長
- 減少交叉污染
LTPS制造工程上成為問題的交叉污染，在半導(dǎo)體制造裝置和液晶面板制造裝置上實現(xiàn)避免。 - 減少COO
設(shè)置Space1/5，藥液和純水使用量盡量減少，實現(xiàn)「對地球親切的洗浄」 - 采用根據(jù)電氣化學(xué)原理的新制程
合理組合機能水、酸藥液和超聲波，實現(xiàn)除去污染物。
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