FPD製造裝置

洗浄裝置

現(xiàn)像裝置

剝離裝置

低溫ポリシリコンTFT用スピン洗浄裝置

配向膜インクジェット塗布裝置

FPD用OLB/PWBボンダ

FPD用COGボンダ

FPD用FOGボンダ

タッチパネル貼り合せ裝置

有機(jī)EL用貼り合せ裝置

半導(dǎo)體製造裝置

枚葉式リン酸エッチング裝置

枚葉式ウェーハ洗浄裝置

フォトマスクエッチング裝置

枚葉式フォトマスク洗浄裝置

ケミカルドライエッチング裝置

イオンケミカルエッチング裝置

ダイボンダ>>FTD-8000-MB

フリップチップボンダ>>TFC-9000

フリップチップボンダ>>TFC-6000

フリップチップボンダ>>TFC-6100/6110

フリップチップボンダ>>TFC-900A

フリップチップボンダ>>TFC-3600-300（液晶ドライバ用）

真空応用裝置

光學(xué)部品スパッタリング裝置

研究開発用スパッタリング裝置

光ディスク用スパッタリング裝置

半導(dǎo)體用スパッタリング裝置

高速枚葉式スパッタリング裝置

高速多層枚葉式スパッタリング裝置

樹脂用成膜裝置

大型バッチ式蒸著裝置

各種応用裝置

自動化システム

二次電池製造裝置

FPD用パターンカット裝置

真空ポンプ?コンポーネンツ

ピストンポンプ　PSL, PDL Series

真空排気セット

真空計

高真空バルブ

オプション?真空油

レーザ裝置

溶接

マーキング

切斷?穴あけ

熱処理?表面処理

リペア?パターニング

レーザ裝置導(dǎo)入支援

AOQスイッチ用RFドライバー

その他製品?裝置

小型真空応用裝置

オートリールチェンジャー

MFCレシオコントローラ

レチクル(フォトマスク)移載機(jī)

生産?販売終了機(jī)種