小型真空応用裝置
（真空チャンバー
搭載排気裝置）
特長
- ４つの基本ユニット構(gòu)成
１）EEA-04TM ベースユニット
２）EEA-04TM-M メインバルブ付きユニット
３）EEA-04TM チャンバー回転機(jī)構(gòu)付きユニット
４）EEA-04TM メインバルブ + チャンバー回転機(jī)機(jī)構(gòu)付きユニット - カスタマイズ製品製作も行います
- お客様の保有品を有効活用も可能です
- ご予算に合わせて、納入後の機(jī)能追加、改造も可能です
- 長年の裝置メンテで培った提案と対応をさせて戴きます
基本仕様
| 到達(dá)圧力 | 5.0 × 10-4 Pa |
|---|---|
| 排気時間 | 6.6 × 10-3 Pa / 5 min |
| 真空チャンバー | AL合金製 |
| 汎用ポート | 真空チャンバー側(cè)面 4 箇所 |
| メインポンプ | 空冷式ターボ分子ポンプ（220 L/sec） |
| 補(bǔ)助ポンプ | 油回転式真空ポンプ（300 L/sec） |
| 操作系 | 手動操作方式 |
| 所要電力 | 三相 200 V, 6 KV |
| 外徑寸法 W × D × H (mm) | 600 × 842 × 1,180 |
| 質(zhì)量 | 170 kg |
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