真空計(jì)

ピラニゲージ
GPW Series

ピラニゲージ GPW Series

本製品は、大気圧から5×10-2Paまでの広領(lǐng)域の測(cè)定が可能なピラニ真空計(jì)です。
さらにこの真空計(jì)は従來のコントローラから操作?表示部を取り除き、必要最低限の機(jī)能に絞り込み、?コストの低減?や?省スペース化?を可能としました。

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GPWシリーズの特長(zhǎng)

  • 広領(lǐng)域測(cè)定：大気圧から5×10-2Paまでの広領(lǐng)域の測(cè)定が可能
  • 省配線：センサとコントローラを一體化により省配線、省スペース、省電力を?qū)g現(xiàn)
  • 視認(rèn)性の向上：異常を確認(rèn)できるLEDを搭載
  • ワンタッチ調(diào)整が可能：大気圧調(diào)整ならびにゼロ點(diǎn)調(diào)整がワンタッチで可能
  • メンテナンス性：測(cè)定子の交換が容易
  • フィラメント材質(zhì)?白金（Pt）：フィラメント材には耐食性に富んだ白金を採(cǎi)用
  • 測(cè)定値出力信號(hào)：圧力は0～10VのLog出力の標(biāo)準(zhǔn)裝備
  • 耐衝撃性の向上：耐衝撃性に富んだ設(shè)計(jì)構(gòu)造
  • 制御出力信號(hào)：セットポイント２點(diǎn)の出力可能（GPW-1）
  • シリアル通信仕様：RS-232C/RS-485通信が可能（GPW-2のみ）
  • 適合規(guī)格：CE標(biāo)準(zhǔn)対応

用途

  • 太陽電池?FPD?半導(dǎo)體?電子部品をはじめとする各種製造裝置の低真空領(lǐng)域のプロセス制御用
  • 爐をはじめとする各種産業(yè)機(jī)器の低真空領(lǐng)域のプロセス制御用
  • インライン式?枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造裝置の低真空領(lǐng)域のプロセス制御用

仕様

型式 GPW-1 GPW-2
接続可能測(cè)定子 1本
適応測(cè)定子 SWP-16（NW-16）
測(cè)定圧力範(fàn)囲 5.0 × 10-2 ～ 1.0 × 105 Pa
測(cè)定精度* 1 × 10-1 ～ 1 × ×104Pa : ± 10 %
5.0 × 10-2 ～ 1.0 × 10-1 Pa, 1 × 104Pa ～ 1 × 105 Pa : ± 20 %
繰り返し性 1 × 10-1Pa ～ 1 × 104 Pa : ± 2 %
サンプリング時(shí)間 50 ms 5回の移動(dòng)平均処理
測(cè)定値出力   出力電圧 DC 0 ～ 10 V
圧力指示（Log 出力）1.7 V ～ 8.0 V, 1V / 桁
更新時(shí)間 50 ms
制御入力信號(hào) オープンコレクタ入力、負(fù)論理
ADJ 調(diào)整（ゼロ點(diǎn)調(diào)整、大気圧調(diào)整）		 -
制御出力信號(hào) オープンコレクタ出力
負(fù)論理 [定格 : 30 VMAX, 50 mAMAX, 70 mW]
エラー信號(hào)
セットポイント 1, 2		 -
セットポイント用モニタ セットポイント 1, 2 : 0 ～ 10 V Log 出力 -
シリアル通信仕様 - RS232C / RS485
LED表示 POWER / ERROR : パワー、エラー LED
SET-1 : セットポイント 1 LED
SET-2 : セットポイント 2 LED		 -
フィラメント材質(zhì) 白金
使用溫度範(fàn)囲 10 ～ 40 ℃
使用濕度範(fàn)囲 15 ～ 80 %（ただし結(jié)露無きこと）
IP 保護(hù)等級(jí) IP30（センサユニット）
取付姿勢(shì) 制限無し
電源電圧 DC 18 V ～ 30 V, 2 W（電源投入時(shí) 4.8 W）
入出力コネクタ D-sub15-ピン（M2.6ネジ）
質(zhì)量 150 g（SWP-16付き）
入外形寸法（電源部）W × D × H（mm） 70 × 46 × 28
適合規(guī)格 CE

*大気圧調(diào)整ならびにゼロ點(diǎn)調(diào)整後の精度になります。

外形寸法図

外形寸法図

単位：㎜
※ 予告なく仕様または希望小売価格が変更されることがあります。

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