芝浦メカトロニクスグループ
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枚葉式リン酸エッチング裝置
枚葉式ウェーハ洗浄裝置
フォトマスクエッチング裝置
枚葉式フォトマスク洗浄裝置
ケミカルドライエッチング裝置
イオンケミカルエッチング裝置
フリップチップボンダTFC-9000
ダイボンダFTD-8000-MB
フリップチップボンダTFC-6000TFC-6100/6110TFC-900A
フリップチップボンダTFC-3600-300（液晶ドライバ用）
半導(dǎo)體用スパッタリング裝置
