現(xiàn)像裝置
TFT工程、カラーフィルタ工程のレジスト処理工程の中で、ガラス基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現(xiàn)像処理をする裝置です。
特長
- 獨(dú)自のシャワー処理により、精密で均一な処理が可能
- 省スペース、省エネルギーを?qū)g現(xiàn)
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TFT工程、カラーフィルタ工程のレジスト処理工程の中で、ガラス基板上に塗布されたレジストにパターン露光した後、現(xiàn)像処理をする裝置です。
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