FPD用パターン
カット裝置
LCD基板の製造プロセスの中での靜電破壊を防止するためのショートパターンなどをレーザで除去する裝置です。ダイシングやテーピング方法と異なり、ドライでクリーンな除去が可能です。4カセットのローダ?アンローダと組合せたフルオートタイプとオペレータが基板を投入するセミオートタイプがあります。
特長(zhǎng)
| 項(xiàng)目 | 備考 | |||
|---|---|---|---|---|
レーザ |
LD勵(lì)起YAGレーザ |
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光學(xué)系 |
f=100mm |
Z=20mm |
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加工點(diǎn)モニタ |
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パワーモニタ |
発振器／加工點(diǎn) |
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搬送部 |
ダブルアームロボット /4カセット |
手動(dòng) | ||
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パネル | ～27inch |
～20inch |
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ゲージング | オート |
セミオート |
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XYステージ | 730 x 650mm |
550 x 640mm |
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アライメント | 1カメラ → 2マーク読取 |
XYθ-アライメント |
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イオナイザ | ACイオナイザ |
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制御 |
PCL+タッチパネル |
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製品に関するお問(wèn)い合わせ