高速多層枚葉式
スパッタリング裝置
（BM-1000／1400）
省スペース?低ランニングコスト?高生産性を?qū)g現(xiàn)するスパッタリング裝置です。
応用例
- 自動(dòng)車ミラー（光觸媒）
- 電子部品
- 加飾成膜
- 光學(xué)膜 (ARコート、増反射膜、ITO膜）
特長(zhǎng)
- 枚葉式ロードロックスパッタリング裝置
- 本體寸法MAX 8インチまで対応可能
- 最大７プロセス室まで取り付け可能
（BM-1000：5室、BM-1400：7室） - 逆スパッタ機(jī)構(gòu)は當(dāng)社獨(dú)自のカップガン方式を採(cǎi)用し、低ダメージ実現(xiàn)
- 加熱機(jī)構(gòu)取付可能
製品に関するお問(wèn)い合わせ