レチクル
(フォトマスク)移載機(jī)
レチクル(フォトマスク)移載機(jī) model-A
- 6インチレチクル（6025サイズ：ペリクル無し）をレチクルSMIFポッド（シングル、マルチ）と
各種プロセス裝置用の専用カセットの間で移し替えをおこなう裝置です。
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シンプルな操作でカセット間レチクルの移し替えを安全?確実におこないます。
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アーム上にレチクルを載せて、ダメージを與えないように搬送をおこないます。
（吸著や挾みこみでのレチクル保持はおこないません）
（レチクルの前後の裏面を搬送アーム上で支持します）
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お客様のご要望に応じてカスタム対応致します。
?各種ケースへの対応
?レチクルサイズの変更
?ブロー機(jī)能追加等
仕様
| 項(xiàng)目 |
model-A |
|---|---|
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対象ワーク |
６インチサイズレチクル（6025サイズ） ※ペリクル無し |
| 対象ケース |
【レチクルSMIFポッド】 【専用カセット】 |
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ケース設(shè)置方法 |
オペレータによる設(shè)置 |
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ケース開閉方式 |
?レチクルSMIFポッドは、裝置で自動(dòng)開閉 ?専用カセットは、オープンカセットである為、開閉機(jī)構(gòu)はなし |
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レチクル搬送方式 |
アーム上にレチクルを載せて搬送（レチクル前後位置の裏面エッジを支持） |
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レチクル接觸部材質(zhì) |
PEEK |
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操作部 |
小型タッチパネル |
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電源 |
?電圧 ： 単相AC100V 50/60Hz |
| 空?qǐng)R源 |
?クリーンドライエアーを使用 ?供給圧力：0.5~0.9MPa |
| 安全機(jī)能 |
?裝置前面にセーフティーライトカーテンを裝備 ?非常停止(EMO)スイッチを裝備 ?専用カセット用ステージには、搬送中に手が入らないようにポートカバーを裝備 |
外形寸法図
レチクル(フォトマスク)移載機(jī) model-C
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6インチレチクル（6025サイズ：ペリクル付きも可）をレチクルSMIFポッド（シングル）と
出荷用ケースの間で移し替えをおこなう裝置です。
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シンプルな操作でカセット間レチクルの移し替えを安全?確実におこないます。
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搬送アームは、レチクルを左右方向から挾みこむかたち開閉します。
レチクルを運(yùn)ぶ時(shí)は、裏面エッジを支持して運(yùn)びます。
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お客様のご要望に応じてカスタム対応致します。
?各種ケースへの対応
?レチクルサイズの変更
仕様
| 項(xiàng)目 |
model-C |
|---|---|
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対象ワーク |
６インチサイズレチクル（6025サイズ） ※ペリクル付きも可能 |
| 対象ケース |
【レチクルSMIFポッド】 【出荷用ケース】 |
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ケース設(shè)置方法 |
オペレータによる設(shè)置 |
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ケース開閉方式 |
?レチクルSMIFポッドは、裝置で自動(dòng)開閉 ?出荷用ケースは、裝置で自動(dòng)開閉 |
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レチクル搬送方式 |
裏面エッジ支持にて搬送 |
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レチクル接觸部材質(zhì) |
PEEK |
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操作部 |
小型タッチパネル |
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電源 |
?電圧 ： 単相AC100V 50/60Hz |
| 空?qǐng)R源 |
?クリーンドライエアーを使用 ?供給圧力：0.5~0.9MPa |
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真空源 |
出荷用ケースの固定およびフタの開閉で使用 ?供給圧力：-70.0KPa以下 ?必要流量：25L/min（ANR)以上 |
| 安全機(jī)能 |
?裝置前面にセーフティーライトカーテンを裝備 ?非常停止(EMO)スイッチを裝備 ?専用カセット用ステージには、搬送中に手が入らないようにポートカバーを裝備 |
外形寸法図
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