低溫ポリシリコン
TFT用スピン
洗浄裝置
半導(dǎo)體製造工程レベルの洗浄能力を持った、低溫ポリシリコンTFT洗浄に最適なスピン方式の洗浄裝置です。
特長(zhǎng)
- クロスコンタミネーションのミニマム化
LTPS製造工程上問題となるクロスコンタミネーションを半導(dǎo)體製造裝置並みに液晶パネル製造裝置で実現(xiàn) - 低COO
設(shè)置スペース1/5と、薬液?純水使用量ミニマム化で「地球にやさしい 洗浄」を?qū)g用化 - 電気化學(xué)的原理にもとづく新プロセスの採(cǎi)用
機(jī)能水、酸薬液とメガソニックの組合せで合理的に汚染物の除去を?qū)g現(xiàn)
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