枚葉式ウェーハ
洗浄裝置
半導(dǎo)體ウェーハの製造工程で、半導(dǎo)體の欠陥の原因になるゴミや汚れを薬液や純水を使用して洗浄する裝置です。
特長
- 高性能
枚葉洗浄方式により高清浄と高均一性を?qū)g現(xiàn) クロスコンタミネーションフリー - 低COO
機能水の活用による薬液コストの低減
少量薬液洗浄システム
小フットプリント - 環(huán)境調(diào)和
脫RCA洗浄と少薬液システム
常溫洗浄の省エネプロセス
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枚葉式ウェーハ洗浄裝置