マルチイオンゲージ
GMi Series
本製品は、異なる測定範(fàn)囲の測定子が接続可能なトランスデューサ型マルチイオンゲージです。
従來方式の複數(shù)の原理を１つの匡體に組み合わせた複合的な真空計では、?１つの測定子の故障で測定子の全交換が必要??測定子が複雑で故障しやすい??測定子が高価?などのお客様の聲をよく耳にします。
この方式であれば広帯域測定を可能としながら、ランニングコストも大幅に抑え、低環(huán)境負荷の対応となります。
GMiシリーズの特長
- 広領(lǐng)域測定
大気圧から高真空領(lǐng)域（105～5×10-8Pa）の 測定が可能（GPM?GAM同時使用の場合） - 異なる測定範(fàn)囲の測定子が接続可能
マルチイオンゲージの採用により用途に応じた測定子の選択が可能 - 正確な大気圧測定
大気圧確認(rèn)が容易にかつ正確に可能（GAMを使用した場合） - 低環(huán)境負荷対応
必要に応じた測定子のみの交換が可能な為、ランニングコストの低減が可能 - 視認(rèn)性の向上
異常を確認(rèn)できるLEDを搭載 - メンテナンス性
測定子の交換が容易 - 各モード仕様（コンビネーションモード）
GMi+GPM（イオンゲージ+ピラニーゲージ）
GMi+GPM+GAM（イオンゲージ+ピラニーゲージ+大気圧センサ） - 測定値出力信號
圧力は0～10V出力（Log出力） - 制御出力信號
セットポイント３點出力が可能（GMi-1） - シリアル通信仕様
RS232C/RS485通信が可能（GMi-2） - 適合規(guī)格
CE標(biāo)準(zhǔn)対応
用途
- 太陽電池?FPD?半導(dǎo)體?電子部品をはじめとする各種製造裝置の高真空領(lǐng)域のプロセス制御用
- インライン式?枚葉式のような多くのプロセス室をもつ各種製造裝置の高真空領(lǐng)域の到達圧力確認(rèn)
- 高真空?超高真空裝置の圧力測定
仕様
| 型式 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 仕様 | 標(biāo)準(zhǔn)仕様 | シリアル通信仕様 | |
| 適応マルチイオンゲージセンサ | M34（NW16）、M35（NW25） | ||
| 接続可能 | センサマルチイオンゲージセンサ：1本 ピラニゲージGPM：1本（オプション） 大気圧センサGAM：1本（オプション） |
||
| サンプリング時間 | 70 ms 4回の移動平均処理 | ||
| 測定値出力 | 出力電圧 DC 0 ～ 10 V, Log出力 0.75 V / 1桁 圧力換算式 V = 7.25 + 0.75 ×（Log P - 2） P = 10 ^ { ( V - 7.25 ) / 0.75 + 2 } *セットポイント調(diào)整用の出力電源も兼ねます（GMi-1のみ） |
||
| 更新時間 | 50 msec | ||
| 制御入力信號 | FIL ON / OFF、FIL 1/2、DEGAS ON / OFF オープンコレクタ入力で動作、負論理 ※FIL ON / OFF 信號はモードにより使用方法が異なる |
- | |
| 制御出力信號 | センサエラー、セットポイント 1 / 2 / 3 エミッションバリッド フィラメント電力監(jiān)視 定格：24 VMAX、50 mAMAX、 飽和電圧 1 V |
- | |
| シリアル通信仕様 | - | RS232C / RS485 | |
| LED表示 | POWER / ERROR：パワー、エラ ー LED（各モードにより點滅狀態(tài)が変化） FIL：エミッションバリッド LED |
||
| SET1：セットポイント 1 LED SET2：セットポイント 2 LED SET3：セットポイント 3 LED |
- | ||
| エミッション電流 | 1 mA（1 × 10-3 Pa 以下）, 10 µA | ||
| DEGAS | 電子衝撃脫離方式（エレクトロンボンバード）1 mA, 330 V | ||
| センサ耐圧 | 2 × 105 Pa（絶対圧） ※フランジやクランプなどの耐圧力は別途考慮要 | ||
| センサ內(nèi)容積 | 34 cm3（M34） | ||
| 使用溫度範(fàn)囲 | 10 ～ 50 ℃ | ||
| 使用濕度範(fàn)囲 | 15 ～ 80 %（ただし、結(jié)露なきこと） | ||
| 保管溫度 | -20 ～ 65 ℃（非通電時、結(jié)露なきこと） | ||
| IP 保護等級 | IP30 | ||
| 電源電圧 | DC 20 ～ 28 V（リップル、ノイズ 1 % 以下) 19 W 以下（電源投入時 156 W） | ||
| 入出力コネクタ | D-sub15ピン（M2.6 ネジ） | ||
| 質(zhì)量 | コントローラ：約 530 g, B-A測定子（M34）：63 g | ||
| 外形寸法 W × D × H（mm） | 144 × 75 × 62 以下（コントローラ部） | ||
| 適合規(guī)格 | CE | ||
| オプション | POWER / ERROR：マルチイオンゲージセンサ | M34（NW16）、M35（NW25） 材質(zhì)：フィラメント 1 lr / Y2O3コート、フィラメント 2 W（タングステン） その他 Pt C Mo, SUS, W |
|
| ピラニゲージ | SPU | ||
| ピラニゲージセンサ | WP-16（NW16） 材質(zhì)：フィラメント Pt、その他 BS / Ni, メッキ, Ni, 半田 |
||
| 大気圧センサ | GAM（NW16） 材質(zhì)：SUS316L | ||
| ユニットケーブル | GPM 用 0.5 mm GAM 用 0.5mm |
||
| ディスプレイユニット | 1 CH：Model ISG1（DC 24 V 電源使用） 4 CH：Model IM1R1（DC 24 V 電源使用） Model IM2R1（AC 100 V 電源使用） |
||
| ディスプレイケーブル | GMi ～ディスプレイユニット間ケーブル 2 m, 5 m, 10 m, 15 m |
||
各モード仕様
GMi-1/GMi-2は、マルチイオンゲージ単體モード、ピラニゲージとのコンビネーションモード、ピラニゲージおよび大気圧センサとのトリプルコンビネーションモードの３種類の使用方法から選択可能です。
| モード | GMi-1 / GMi-2 単體モード |
GMi-1 / GMi-2 + GPM コンビネーションモード |
GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM コンビネーションモード |
|---|---|---|---|
| 測定圧力範(fàn)囲 | 5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa | 5 × 10-8 ～ 1 × 104 Pa | 5 × 10-8 ～ 1 × 105 Pa |
| 測定精度 | 5 × 10-8 ～ 1 × 101 Pa± 15 % | 5 × 10-8 ～ 1 × 103 Pa：± 15 % 1 × 103 ～ 3.0 × 103 Pa：± 30 % 3.0 × 103 ～ 1.0 × 104Pa：精度保証なし |
5 × 10-8 ～ 1 × 103 Pa：± 15 % 1 × 103 ～ 3.0 × 103 Pa：± 30 % 3.0 × 103 ～1.0 × 104Pa：精度保証なし 1.0 × 104 ～ 1.0 × 105Pa：± 3 % F.S (3 × 103 Pa?基準(zhǔn)溫度 25 ℃) |
| 繰返精度 | 1 × 10-6 ～ 1 × 10-1Pa：Pa± 2 % | ||
| 接続図（例） |  |
 |
 |
製品に関するお問い合わせ