有機(jī)EL用
貼り合せ裝置
窒素雰囲気內(nèi)にて基板上面にシール剤を散布し、封止剤滴下又は、乾燥剤を貼り付け、対向基板と高精度なアライメントを行い、真空中で貼り合せる裝置です。
特長(zhǎng)
- 高精度真空貼り合せ
液晶パネル製造裝置の豊富なノウハウと卓越した真空応用技術(shù)の粋を活用 - 各種プロセスに対応
研究開(kāi)発から生産に至る用途に対応した裝置で、各種オプションからご希望のプロセスにマッチした裝置仕様を選択
| 対象基板サイズ | 最大370ｍｍ×470mm |
|---|---|
| 酸素水分濃度 | 1ppm 以下 |
| アライメント精度 | ±2μm |
製品に関するお問(wèn)い合わせ