光學(xué)部品
スパッタリング
裝置
（CCSシリーズ）
光學(xué)膜成膜に最適なスパッタリング裝置です。
低溫にて連続多層成膜が可能です。
応用例
- カバーガラス用ＡＲコート（スマートフォン用／車載ディスプレイ用）
- 自動(dòng)車用光學(xué)部品
?ＨＵＤ用増反射ミラー、コンバイナーなど
（増反射膜、ハーフ、ＡＲコート）
特長(zhǎng)
- 後酸化方式を採(cǎi)用し低溫成膜が可能
- 高生産性
- 多品種対応
- 高均一性
- 高品質(zhì)
- 自動(dòng)化容易
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