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芝浦メカトロニクスグループ
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FPD製造裝置
洗浄裝置
現(xiàn)像裝置
剝離裝置
低溫ポリシリコンTFT用スピン洗浄裝置
配向膜インクジェット塗布裝置
FPD用OLB/PWBボンダ
FPD用COGボンダ
FPD用FOGボンダ
タッチパネル貼り合せ裝置
有機(jī)EL用貼り合せ裝置
半導(dǎo)體製造裝置
枚葉式リン酸エッチング裝置
枚葉式ウェーハ洗浄裝置
フォトマスクエッチング裝置
枚葉式フォトマスク洗浄裝置
ケミカルドライエッチング裝置
イオンケミカルエッチング裝置
ダイボンダ>>FTD-8000-MB
フリップチップボンダ>>TFC-9000
フリップチップボンダ>>TFC-6000
フリップチップボンダ>>TFC-6100/6110
フリップチップボンダ>>TFC-900A
フリップチップボンダ>>TFC-3600-300(液晶ドライバ用)
半導(dǎo)體用スパッタリング裝置
真空応用裝置
光學(xué)部品スパッタリング裝置
研究開発用スパッタリング裝置
光ディスク用スパッタリング裝置
半導(dǎo)體用スパッタリング裝置
高速枚葉式スパッタリング裝置
高速多層枚葉式スパッタリング裝置
樹脂用成膜裝置
大型バッチ式蒸著裝置
各種応用裝置
自動(dòng)化システム
二次電池製造裝置
FPD用パターンカット裝置
真空ポンプ?コンポーネンツ
ピストンポンプ
- PSL, PDL Series
真空排気セット
真空計(jì)
- ピラニ真空計(jì) PG Series
- ピラニ真空計(jì) TPG Series
- ピラニゲージ GP-1
- ピラニゲージ GPW Series
- マルチイオンゲージ GMi Series
- ディスプレイユニット GDS-1
高真空バルブ
- VHD Series（手動(dòng)型）
- VAD Series（空?qǐng)R型）
- カップリングタイプ型
オプション?真空油
- 油回転真空ポンプ用
- オイルレス真空ポンプ用
- 真空油
レーザ裝置
溶接
マーキング
切斷?穴あけ
熱処理?表面処理
レーザ裝置導(dǎo)入支援
AOQスイッチ用RFドライバー
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