枚葉式
フォトマスク
洗浄裝置
半導(dǎo)體のパターン形成に使用するフォトマスクの製造工程で、フォトマスク用ガラスに付著するゴミや汚れを薬液や純水を使用して洗浄する裝置です。
特長
- 高性能
高溫薬液洗浄による高効率洗浄
自社製薬液メガソニックにより高清浄な洗浄を?qū)g現(xiàn)
メタルフリー構(gòu)造による耐薬品性向上 - 低COO
枚葉式スピンにより純水?薬液の消費(fèi)量を削減
小フットプリント - 拡張性
スピンユニット、光洗浄ユニット、IPAベーパー乾燥ユニットのインテグレート
各種通信システム対応
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