樹(shù)脂用
成膜裝置
（PLACOAT／CFS-36PV）
樹(shù)脂製部品用にスパッタリングおよびプラズマ重合を1臺(tái)の裝置で実現(xiàn)しました。
特長(zhǎng)
- 樹(shù)脂製部品（裝飾品、自動(dòng)車(chē)部品etc.）へのアルミニウムなどのメタル膜コーティング、およびプラズマ重合の採(cǎi)用により環(huán)境に優(yōu)しい成膜を?qū)g現(xiàn)
- 光ディスク用途などで長(zhǎng)年培ってきた高速スパッタリング裝置の技術(shù)により、省スペース?低ランニングコスト?高生産性を達(dá)成
- 立體物への成膜へも対応
| 形式 | PLACOAT | CFS-36PV-100 |
|---|---|---|
| 本體寸法（mm） | W2500×D2500×H1500 | ?900×H1750（チャンバーサイズ） |
| 基板サイズ（mm） | 最大 L500×W500×H200 | 最大 ?650×H1200 |
| サイクルタイム（sec） | 30（ロード/アンロード除く） | 300（ロード/アンロード除く） |
| 構(gòu)成 | インラインタイプ 1.ロードロック 2.スパッタリング 3.重合 |
バッチタイプ 1.スパッタリング 2.重合 |
製品に関するお問(wèn)い合わせ